睿励科学仪器完成数亿元B轮融资，资金主要用于丰富产品种类，加大市场开拓力度能力等

睿励科学仪器(上海)有限公司（以下简称「睿励科学仪器」）近日完成数亿元B轮融资，本轮融资由金石投资、招商致远领投，清控金信、河南资产、鼎青投资等资方跟投。

所融资金主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。

睿励科学仪器成立于2005年，总部位于上海张江。公司致力于开发、生产和销售具有自主知识产权及核心技术的集成电路芯片制造工艺用的光学量检测设备。公司总部位于上海浦东新区，其团队成员多来自全球前两位量检测设备企业和国内知名光学技术公司，有18年产品开发和市场应用经验。

睿励科学仪器总经理杨峰表示：“非常感谢投资方的认可与支持。我们将继续深耕集成电路芯片生产工艺检测设备市场，进一步丰富光学量测和光学缺陷检测产品系列，为实现集成电路前道工艺检测设备国产化全面替代的目标而努力。”他指出，未来，睿励科学仪器将持续聚焦在光学量检测领域，完善膜厚量测、OCD量测、缺陷检测，开发包括OVL的其他光学量检测设备。

金石投资表示，半导体设备是半导体产业的基石，中国半导体产业的蓬勃发展有赖于半导体设备的技术和产品突破，量检测是其中的关键环节。睿励科学作为中国最早的一批量检测设备公司，吸引了来自于国内外的顶尖人才，坚持技术创新，聚焦光学技术，我们相信睿励科学将继续保持技术和产品领先，帮助先进制程实现国产替代的突破和发展。

招商致远表示，半导体量检测设备面临巨大的市场空间和国产替代机遇，也具有很高的壁垒。招商致远看好半导体量检测赛道，期待睿励科学凭借优秀的团队和多年的技术积累和量产经验，成为该细分赛道的领导者。